半导体光刻用紫外灯

半导体光刻用紫外卤素灯：功率、精度与工艺控制 我们制造这些紫外灯只有一个原因：半导体光刻是一头难驯服的猛兽。它需要你能够反复依赖的热量，输出稳定不波动。你需要一个在晶圆台上保持绝对稳定、严格公差且不会提前失效的热源。 功率、电压与尺寸——这些对你意味着什么 我们用400V高压电源点燃电弧。为什么？...