半導体リソグラフィ用UVランプ

半導体リソグラフィ用UVハロゲンランプ：パワー、精度、プロセス制御 私たちがこれらのUVランプを作った理由はひとつです。半導体リソグラフィは手強い。何度でも頼りになる熱量が必要で、出力がぶれないことが求められます。ウェハーステージ上で安定し、厳しい公差を守り、途中で止まらない熱源が必要です。 パワ...