מנורות הלוגן UV לליתוגרפיה של מוליכים למחצה: כוח, דיוק ובקרת תהליך
בנינו את מנורות ה-UV הללו מסיבה אחת: ליתוגרפיה של מוליכים למחצה היא חיה ברת נשיאה. היא דורשת חום שאפשר לסמוך עליו, שוב ושוב, עם פלט שלא מתנדנד. אתם צריכים מקור חום שנשאר יציב על במה של הוופר, שומר על טולרנסים הדוקים, ולא מפסיק מוקדם.
כוח, מתח וגודל — מה זה אומר בשבילכם
אנחנו מפעילים את הקשת מזרם גבוה של 400 וולט. למה? כי זה שומר על התנעה אמינה ועל פעולה יציבה, גם כשאתם מפעילים ומכבים את המנורה בין ריצות וופרים.
דירוג 2500 וואט זה לא מספר על הנייר — זה הכוח שצריך כדי להגיע לנקודת החום האידיאלית לחשיפת הפוטורזיסט.
והאורך של 300 מ"מ? זה מכוון. הוא מתיישר עם מערכות במה וחדר מנורות סטנדרטיות, כך שתוכלו להכניס את היחידה בלי לשנות את כל החדר.
חומרים ועיצוב: שומרים על ניקיון וחוזק
בפנים, מחזור ההלוגן עושה את שלו בתוך מעטפת קוורץ, שומר על הפילמנט והצינור נקיים בזמן העבודה. התוצאה פשוטה: פלט UV עקבי, יום אחרי יום.
הקוורץ סופג את החום בלי להתרכך, ומעביר UV כפי שצריך.
ואז יש את מחבר R7s. הוא מוכח, פרקטי, ומתחבר מהר. הוא מעביר זרם גבוה בבטחה, מצמצם טעויות בחיווט, ומאפשר החלפה מהירה — בלי תקלות, פשוט חוזרים לעבודה.
למה זה חשוב במפעל הליתוגרפיה
בליתוגרפיה, יציבות המנורה היא לא דבר מותרות — זה ההבדל בין דיוק חפיפה הדוק לריצות מבוזבזות. עם ההתקנה הזו, אתם מקבלים חום שחוזר על עצמו, חימום מהיר, וטביעת רגל קומפקטית.
רק תזהרו: ציפיפות של 2500 וואט זו דבר רציני, אז תכננו את הקירור. תנו לחדר המנורות מספיק זרימת אוויר ומרחב תרמי, והוא לא יחמם יתר על המידה.