UV Lampe für Halbleiterlithografie

Sat, 23 May 2026 00:13:49 +0800

UV-Halogenlampen für die Halbleiterlithografie: Leistung, Präzision und Prozesskontrolle

Wir haben diese UV-Lampen aus einem Grund gebaut: Halbleiterlithografie ist eine Herausforderung. Sie braucht Wärme, auf die man sich immer wieder verlassen kann, mit einer Leistung, die nicht schwankt. Sie benötigen eine Wärmequelle, die auf der Waferbühne standhaft bleibt, enge Toleranzen einhält und nicht vorzeitig ausfällt.

Leistung, Spannung und Größe – Was das für Sie bedeutet

Wir betreiben den Lichtbogen mit einer 400V-Hochspannungsversorgung. Warum? Weil dies die Zündung zuverlässig hält und den Betrieb stabil macht, selbst wenn Sie die Lampe zwischen den Waferläufen ein- und ausschalten.
Die Nennleistung von 2500W ist keine bloße Zahl – sie ist die Kraft, die Sie brauchen, um den optimalen Wärmedichtebereich für die Belichtung des Fotolacks zu erreichen.
Und die Länge von 300 mm? Die ist bewusst gewählt. Sie passt zu Standardbühnen- und Lampengehäuse-Setups, sodass Sie die Einheit ohne Umbau der gesamten Kammer einsetzen können.

Halbleiter on UV Curing Lamp

UV Lampe für Halbleiterlithografie

UV-Halogenlampen für die Halbleiterlithografie: Leistung, Präzision und Prozesskontrolle

Leistung, Spannung und Größe – Was das für Sie bedeutet