หลอดฮาโลเจนยูวีสำหรับการลิโทกราฟีเซมิคอนดักเตอร์: กำลังไฟ ความแม่นยำ และการควบคุมกระบวนการ
เราสร้างหลอดยูวีเหล่านี้ด้วยเหตุผลเดียว: การลิโทกราฟีเซมิคอนดักเตอร์เป็นงานที่ท้าทาย มันต้องการความร้อนที่คุณวางใจได้ ซ้ำแล้วซ้ำเล่า โดยมีกำลังขับที่ไม่สั่นคลอน คุณต้องการแหล่งความร้อนที่มั่นคงบนเวเฟอร์สเตจ รักษาค่าความคลาดเคลื่อนอย่างเข้มงวด และไม่หยุดทำงานก่อนเวลา
กำลังไฟ แรงดันไฟฟ้า และขนาด—หมายความว่าอย่างไรสำหรับคุณ
เราขับอาร์คด้วยแหล่งจ่ายไฟแรงดันสูง 400 โวลต์ ทำไม? เพราะมันทำให้การจุดติดเชื่อถือได้และการทำงานมั่นคง แม้ในขณะที่คุณเปิดปิดหลอดระหว่างการทำงานของเวเฟอร์
กำลังไฟ 2500 วัตต์ไม่ใช่แค่ตัวเลขบนกระดาษ—มันคือพลังที่คุณต้องการเพื่อให้ได้ความหนาแน่นความร้อนที่เหมาะสมสำหรับการเปิดรับโฟโตรซิสต์
และความยาว 300 มม. นั้นตั้งใจออกแบบมาให้เข้ากับการตั้งค่าสเตจและโคมไฟมาตรฐาน เพื่อให้คุณสอดอุปกรณ์เข้าไปได้โดยไม่ต้องปรับเปลี่ยนห้องทั้งหมด
วัสดุและการออกแบบ: รักษาความสะอาดและความทนทาน
ภายใน วงจรฮาโลเจนทำงานอยู่ในซองควอตซ์ เพื่อรักษาความสะอาดของไส้หลอดและท่อในขณะใช้งาน ผลตอบแทนคือการปล่อยแสงยูวีที่สม่ำเสมอ วันแล้ววันเล่า
ควอตซ์ทนความร้อนได้โดยไม่อ่อนตัว และส่งผ่านแสงยูวีได้อย่างถูกต้อง
จากนั้นก็มีขั้วต่อ R7s ซึ่งได้รับการพิสูจน์แล้วว่าใช้งานได้จริง และล็อกติดอย่างรวดเร็ว มันรองรับกระแสไฟสูงได้อย่างปลอดภัย ลดความผิดพลาดในการเดินสายไฟ และทำให้การเปลี่ยนหลอดรวดเร็ว—ไม่มีความยุ่งยาก แค่กลับไปทำงานได้ทันที
ทำไมสิ่งนี้จึงสำคัญในพื้นที่ลิโทกราฟี
ในการลิโทกราฟี ความเสถียรของหลอดไฟไม่ใช่แค่สิ่งที่ดีที่จะมี แต่เป็นตัวกำหนดความแม่นยำของการวางซ้อนภาพและป้องกันการเสียงาน ด้วยการตั้งค่านี้ คุณจะได้ความร้อนที่ทำซ้ำได้ อุ่นเครื่องเร็ว และขนาดกะทัดรัด
แค่แจ้งให้ทราบล่วงหน้า: ความหนาแน่น 2500 วัตต์นี้แรงมาก ดังนั้นวางแผนการระบายความร้อนให้ดี ให้โคมไฟมีการไหลของอากาศและพื้นที่ระบายความร้อนเพียงพอ แล้วมันจะไม่ร้อนเกินไปในขณะใช้งาน