Lampes halogènes UV pour la lithographie des semi-conducteurs : puissance, précision et contrôle du processus
Nous avons conçu ces lampes UV pour une seule raison : la lithographie des semi-conducteurs est un défi de taille. Elle nécessite une chaleur sur laquelle vous pouvez compter, encore et encore, avec une sortie qui ne vacille jamais. Vous avez besoin d’une source de chaleur qui reste parfaitement stable sur la scène du wafer, respecte des tolérances strictes et ne lâche pas prématurément.
Puissance, tension et taille — ce que cela signifie pour vous
Nous alimentons l’arc avec une alimentation haute tension de 400 V. Pourquoi ? Parce que cela garantit un allumage fiable et un fonctionnement stable, même lorsque vous allumez et éteignez la lampe entre les cycles de wafers.
La puissance nominale de 2500 W n’est pas un simple chiffre sur le papier — c’est la force nécessaire pour atteindre la densité thermique idéale pour l’exposition du photoresist.
Et la longueur de 300 mm ? C’est volontaire. Elle correspond aux configurations standard des scènes et des logements de lampes, vous permettant d’insérer l’unité sans réingénierie complète de la chambre.
Matériaux et conception : garder la propreté et la robustesse
À l’intérieur, le cycle halogène fait son travail dans une enveloppe en quartz, maintenant propre le filament et le tube pendant le fonctionnement. Le résultat est simple : une sortie UV constante, jour après jour.
Le quartz supporte la chaleur sans se ramollir, et transmet l’UV comme il se doit.
Ensuite, il y a le connecteur R7s. Il est éprouvé, pratique, et se verrouille rapidement. Il supporte un courant élevé en toute sécurité, réduit les erreurs de câblage, et facilite le remplacement — sans tracas, juste pour reprendre le travail.
Pourquoi c’est important sur le plancher de lithographie
En lithographie, la stabilité de la lampe n’est pas un luxe — c’est ce qui fait la différence entre une précision d’alignement serrée et des séries gâchées. Avec cette configuration, vous obtenez une chaleur répétable, un temps de chauffe rapide, et un encombrement réduit.
Un dernier conseil : cette densité de 2500 W est sérieuse, alors prévoyez votre refroidissement. Offrez au logement de la lampe un flux d’air suffisant et une marge thermique adéquate, et elle ne surchauffera pas.